加速度センサ

固定された参照点がないアプリケーションにおいて、特に直線運動の精密な測定が不可欠な場合、MEMS加速度センサは極めて重要な役割を果たします。MEMS加速度センサは、取り付けられた物体の直線加速度を測定します。加速度は通常 m/s² で測定されますが、加速度センサでは重力の単位を表す「g」が使用され、1g は 9.81m/s² に相当します

すべての加速度計の基本原理は、バネ上の質量に基づいています。
取り付けられた物体が加速すると、質量はその慣性により静止しようとし、その結果バネが伸びたり縮んだりします。この動作により、加えられた加速度に相当する力が生成され、それが加速度センサによって検出されます。

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Silicon Sensing製加速度センサの技術

弊社の加速度センサは、バネ付き「プルーフ」質量を特徴とするシリコンMEMS検出器の一対によって、精密な直線加速度検出を実現しています。各質量は、複雑に交差する「フィンガー」の配列によって形成される可変静電容量内の可動プレートとして機能します。この設計は、Gemini® MEMS二軸加速度センサとMEMS CMSコンビセンサに適用されています。

センサの感度軸に沿って直線加速度が加わると、質量は自身の慣性によって動きに対して抵抗します。結果として、質量とそのフィンガーは固定された電極フィンガーに対して相対的に移動し、フィンガー間のガスが減衰作用を発生させます。この変位は、移動するシリコン製フィンガーと固定されたシリコン製フィンガー間の静電容量変化を誘発し、この測定値は加えられた加速度に比例します。

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Gemini(面内)

Gemini(面内)

Gemini (縦型)

Gemini (縦型)

CMS300(面内)

CMS300(面内)

CMS390 (縦型)

CMS390 (縦型)

AXES OF ACCELERATION 2 2 2 2
ACCELERATION RANGE ±0.85g - ±96g ±0.85g - ±96g ±2.5 to ±10g ±2.5 to ±10g
OPERATING TEMPERATURE -40°C to +125°C -40°C - +125°C -40°C to +125°C -40°C to +125°C
BIAS VARIATION OVER TEMP ±50mg - ±500mg ±50mg - ±500mg ±30mg - ±50mg, ±1°/s ±30mg - ±50mg, ±1°/s
BIAS REPEATABILITY ±0.35mg - ±8mg ±0.35mg - ±8mg ±2.47°/s ±75mg (not compensated) ±2.47°/s ±75mg (not compensated)
VIBRATION RECTIFICATION 0.15mg/g2 @ 0.5g rms - 0.1mg/g2 @ 12g rms 0.15mg/g2 @ 0.5g rms - 0.1mg/g2 @ 12g rms 0.001°/s/g2 rms to 0.003°/s/g2 rms 0.001°/s/g2 rms to 0.003°/s/g2 rms
DIMENSION MM 10.4 x 6.0 x 2.2 10.4 x 6.0 x 2.2 10.4 x 6.0 x 2.2 10.4 x 6.7 x 2.7
SUPPLY VOLTAGE VDD 3.3v 3.3v 3.3V 3.3V
INTERFACE Analogue, Digital, SPI® Analogue, Digital, SPI® Digital SPI© Digital SPI©
VELOCITY RANDOM WALK 0.15mg/g2 @ 0.15g rms to 0.1mg/g2 @ 12g rms 0.15mg/g2 @ 0.15g rms to 0.1mg/g2 @ 12g rms <0.05 m/s/√hr <0.05 m/s/√hr

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